突撃レポート！　『ミクロの世界で戦う男達！！後編』

2007年12月10日 08:30

こんにちは。きむらです。
ブログ屋本舗でございます。

今日は予告どおり、クリーンルーム突撃隊長になりました！

日常生活では見ることができないクリーンルームを余すとこなくご紹介します◎

まずは、予備知識を！
クリーンルームとは、空気中のほこりや微粒子を所定の数以下にして、
圧力、温度、湿度などを一定範囲にする目的で作られた部屋のこと。

要するに、ほこりが“めっちゃめっちゃ少ない”ところです！

ここでいう微粒子とは、0．3～0．5ミクロン（0．0003～0．0005ミリ）という
とぉ～っても小さな粒子！

ちなみに、スギ花粉は30～40ミクロンもあります！！
ということは、クリーンルームの中にいれば絶対に花粉症にはならないってわけ（＾0＾）

そんな正確な研究を邪魔するほこり達が非常に少ないクリーンルームで、
ミクロの世界の研究を行っているわけです！
　→　前編を参照

クリーンルームの入る前には着替えないといけないらしいです！
“無塵衣”といって、発塵性が低い無菌衣とか。

ジャ～ン！突撃隊長きむらの登場です！！

スーツの上に着てしまった・・・。
めっちゃモコモコするけど、まいっか！！
　※っていうか、最近よく使われるこの画像。
　　著作権侵害に気をつけてくださいよ！カトーさんっ！！

これが入口！コーション！？ひゃ～、ドキドキ・・・。

クリーンルームは小さなほこりに非常にデリケート。
ということで、スリッパのウラも粘着テープでゴミ取り◎

さぁ、ドアをあけようとドアの前に立つと、何かおもしろいものを発見！
解説を学生にお願いしました◎

【リリーフダンパー】
これは、リリーフダンパーと言われるもので、クリーンルーム内を常に気圧が高い状態に保ち、
外部からの汚染された空気が内部に侵入するのを防ぐために使用するものです。

では、入りましょう！と、思ったらまた不思議なものが・・・。
教えて下さい！

【エアシャワー】
これはクリーンルームに入室するとき、着衣に付いた粉じんや細菌を除去するものです。
スーパーエアフィルターが内臓されていて、このノズルから風速20m／s～30m／sの空気
が吹きだされて数秒で着衣に付いた粉じんや細菌を除去します。

早速、入ってみましょう！

風がぁ～～～あわわわ～～～！

やっとのことでクリーンルームに入れました◎
お！
我らが戦士達を発見！！

彼らにクリーンルームの4原則を聞きました！
これはクリーンルームの世界では鉄則とか◎

＜クリーンルームの4原則＞
1．微粒子を部屋に入れない！
2．微粒子を極力排除する！
3．微粒子の発生を防ぐ！
4．微粒子の推積を防ぐ！

そう、クリーンルームは厳しい世界なのです（＞＜）
だから、クリーンルームには鉛筆は絶対に持ち込み禁止だそうです！
鉛筆って、小さな小さな削りかすが出ますからね。
ボールペンもノック式はダメらしいですよ。
かちかちすると粉じんがでますからね・・・。あぁ、厳しい！！

またまた珍しいものを発見！
コレ、何？アンプ？

　

【超高性能フィルター】
これは、超高性能フィルターといって、高度の空気清浄機です。
0．3ミクロン以上の微粒子や細菌を99．97％以上も除去することが可能！
ちなみに小麦粉は一番小さな粒子でも10ミクロン程度。

ということは、小麦粉をクリーンルームの中でばらまいたらいつの間にか
消えているとか？すごい・・・

またまた、おもしろいものが見えました！
これはなに？予想するに普通の掃除機じゃないでしょ？？

【バキュームクリーナー】
正解です！先ほど紹介したスーパーエアフィルターが内蔵されていて、クリーンルーム内の
清浄には欠かせない掃除機です。
排気口から粉じんが出ないんです！しかも、吸引力が大！

実はこの部屋、粉じんの量を定期的に検査しているとか。
すごいですねぇ。

ねぇ、これは何をしているの？

シリコン基板をカットしているんです。
実験用に小さく切り取るんですよ。

　

これがもとの基板です。
次にこの基板を洗浄する所にいきます。
この部屋の奥です。

ガチャッ！
じゃ～ん！

【クリーンベンチ】
作業台上の作業空間に、スーパーエアフィルターでろ過された空気を流し、常に高い清浄状態で
作業できるようにした清浄作業台です。

ここで、基板を洗浄してゴミを落とすそうです。
そして、実験材料を限りなく最適な状態にして、実験を行うんです。

前回紹介したスパッタ装置もありますよ。

さて、今回はひたすらクリーンルームの紹介となりました。
どうでしょうか？
ミクロの世界で実験や研究を行うためには、
まず環境を整える必要があるんですね！

工学部にとって、施設や設備がいかに重要か、
お分かりいただけたと思います。

そのような場から新しい技術が生まれるわけです！
皆さんも充実した環境でやりたいことを追求してはどうですか。